金融界2024年12月5日消息,国家知识产权局信息显示,合肥意克赛激光科技有限公司申请一项名为“基于ModBus的准分子激光器控制系统”的专利,公开号 CN 119070117 A,申请日期为2024年9月。
专利摘要显示,本发明涉及准分子激光器技术领域,公开了基于ModBus的准分子激光器控制系统,包括激光腔,激光腔的一端设置有压力传感器,激光腔的另一端连接有手动阀门,手动阀门的一端分别连接有电磁阀1、电磁阀2、电磁阀3、电磁阀4,电磁阀4的一端连接有线,关闭其他电磁阀,真空泵对激光腔进行抽线时,关闭电磁阀1,打开电磁阀2,当g1=g4时,关闭电磁阀2,打开电磁阀3,当g1=g5时,关闭控制气体3的电磁阀,同时关闭手动阀门,自动配气完成,从而可以消除人为因素造成的误差。
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